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    200氣壓超高壓汞燈技術——日本CCS 165-SHU UV光源的精密固化解決方案

    發布時間： 2026-03-07　　點擊次數： 150次

    核心技術

    日本CCS 165-SHU采用200氣壓超高壓汞燈技術，配合1mm短弧長設計，實現3800mW/cm2的超高輻射強度，專為精密UV固化與光刻工藝打造
    。

    關鍵參數

    參數規格
    燈管功率DC 165W
    輻射強度3800mW/cm2 @ 365nm
    燈管壽命2000小時（至初始光量40%）
    光譜范圍315-420nm寬光譜
    輸入電源AC 95-240V通用
    冷卻方式強制風冷

    核心優勢

    超高壓技術：200氣壓產生極密集等離子體，電弧亮度遠超傳統汞燈
    寬光譜輸出：覆蓋315-420nm，匹配多種光引發劑，適用復雜固化工藝
    產線集成：配備外部控制接口，支持自動化系統聯動

    主要應用

    • 半導體光刻：功率芯片鋁布線、MEMS結構、LED電極Pad的i-line曝光
    • 電子封裝：環氧樹脂、光敏膠快速固化
    • PCB制造：阻焊油墨高能量固化
    • 缺陷檢測：365nm紫外熒光激發，識別表面微裂紋與污染

    結語

    165-SHU以中端成本實現接近設備的輻射強度，是半導體成熟制程與精密電子制造中替代昂貴DUV設備的務實選擇，在Micro-LED與先進封裝領域具有顯著技術經濟優勢。


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