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射頻等離子體清洗 / 處理設備

射頻等離子體清洗 / 處理設備

更新日期:2026-03-28

訪問量:217

廠商性質:經銷商

生產地址:日本

簡要描述:
RFPC-550 是一款中型射頻等離子體清洗 / 處理設備,采用 RF 等離子技術,在真空腔體中實現高精度表面清洗、活化與去膠,適合半導體、精密制造等領域的工藝研發與小批量生產。

一、產品定位與核心價值

RFPC-550 射頻等離子體清洗 / 處理設備 是面向制造與科研領域的真空射頻等離子處理系統,聚焦于高精度、可重復的表面處理需求,解決了大氣壓等離子無法處理復雜腔體、真空度控制不足的痛點,為半導體封裝、精密光學、MEMS 器件等提供可靠的表面改性與清洗方案。

二、核心性能與設計優勢

  1. 射頻等離子 + 真空腔體設計配備不銹鋼圓形真空腔體與 RF 射頻電源,可在低真空環境下產生均勻等離子體,實現無損傷的表面清洗、活化、去膠與親水化改性,處理效果均勻且可控。
  2. 穩定的真空與工藝控制集成真空泵組與真空控制模塊,可精準調節腔體真空度;支持氣體流量、RF 功率、處理時間等參數自定義,適配不同材料與工藝需求,保障批次間處理效果一致性。
  3. 移動式工業結構采用帶腳輪的機架式設計,便于實驗室 / 車間移動部署;腔體配備觀察窗,可實時監控等離子狀態;操作面板集成儀表與控制旋鈕,直觀便捷,支持手動 / 半自動模式。
  4. 安全與耐用性具備過壓、過流、過熱保護與真空聯鎖機制,操作安全;腔體與管路采用耐腐蝕不銹鋼材質,適配 O?、Ar、N?等多種工藝氣體,長期穩定運行。

三、適用場景與行業價值

射頻等離子體清洗 / 處理設備 廣泛應用于:
  • 半導體 / 微電子:晶圓、封裝基板、MEMS 器件的表面清洗與去膠;

  • 精密光學:光學鏡片、濾光片的表面清潔與親水化改性;

  • 醫療器件:植入件、微流控芯片的生物相容性提升;

  • 科研研發:材料表面改性、等離子工藝基礎研究。

通過精準的真空射頻等離子處理,幫助企業提升產品良率、優化工藝穩定性,是制造與科研領域的核心表面處理設備。

四、包裝與售后服務

  • 包裝:定制木箱 + 緩沖材料包裝,隨附真空泵、氣體管路、操作手冊與校準證書;

  • 售后:提供 1 年原廠保修服務,支持安裝調試、操作培訓與備件供應。


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