日本 EKUSA 半導(dǎo)體用超純水在線加熱器

更新日期：2026-04-01

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廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址：日本

簡要描述：

日本 EKUSA 半導(dǎo)體用超純水在線加熱器 EHS 型，接液部全 PFA 氟樹脂材質(zhì)，無雜質(zhì) / 金屬離子溶出，適配半導(dǎo)體高純度工藝要求。設(shè)備采用低溫長壽命設(shè)計，PID 精準(zhǔn)控溫，最高加熱 90℃，工作壓力 0.4MPa，可用于超純水流體加熱，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓制造、電子面板、光伏等行業(yè)。

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產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品概述

日本 EKUSA 半導(dǎo)體用超純水在線加熱器 EHS 型是專為半導(dǎo)體、電子等制造業(yè)研發(fā)的高純度流體加熱設(shè)備。產(chǎn)品以全 PFA 接液結(jié)構(gòu)為核心，杜絕雜質(zhì)溶出，搭配 PID 精準(zhǔn)控溫與長壽命低溫加熱設(shè)計，為半導(dǎo)體濕法工藝、超純水系統(tǒng)提供穩(wěn)定、高純度的加熱解決方案，是 12 英寸晶圓制造等工藝的核心配套設(shè)備。

核心性能與設(shè)計亮點

全 PFA 接液，高純度保障所有與流體接觸的部件均采用 PFA 氟樹脂材質(zhì)，無任何金屬部件接觸流體，避免金屬離子、雜質(zhì)溶出，滿足半導(dǎo)體行業(yè)對超純水、化學(xué)品的純度要求，可安全用于強腐蝕性化學(xué)品的加熱，適配各類嚴(yán)苛工藝場景。
低溫長壽命設(shè)計，降低運維成本采用低功率密度、低溫型加熱結(jié)構(gòu)，大幅降低加熱器老化、損壞風(fēng)險，實現(xiàn)超長使用壽命，無需頻繁更換加熱器，減少設(shè)備維護成本與工廠停機時間，適配半導(dǎo)體工廠 24 小時連續(xù)運行需求。
PID 精準(zhǔn)控溫，工藝穩(wěn)定性強搭載 PID 智能溫控系統(tǒng)，在流量穩(wěn)定條件下控溫精度可達(dá) ±1℃，確保超純水、化學(xué)品溫度恒定，精準(zhǔn)匹配半導(dǎo)體濕法清洗、蝕刻等工藝對溫度的嚴(yán)苛要求，有效提升工藝良率與產(chǎn)品一致性。
緊湊結(jié)構(gòu)，安裝靈活便捷設(shè)備整體設(shè)計緊湊，占用空間小，可直接集成到半導(dǎo)體超純水管道系統(tǒng)中，安裝靈活，適配各類工廠布局，無需大規(guī)模改造管路，降低現(xiàn)場施工成本。
多重安全防護，遠(yuǎn)程可控配備超溫、過流、漏電等多重安全保護機制，異常工況自動停機，保障設(shè)備與工藝安全；同時支持外部信號遠(yuǎn)程控制，可直接接入工廠自動化系統(tǒng)，實現(xiàn)集中管控，適配智能工廠需求。
寬適用性，多場景兼容不僅可加熱超純水，還可適配半導(dǎo)體常用腐蝕性化學(xué)品，一臺設(shè)備覆蓋多類工藝流體加熱需求，降低采購成本，提升設(shè)備利用率。

日本 EKUSA 半導(dǎo)體用超純水在線加熱器 EHS 型技術(shù)參數(shù)與配置

設(shè)備額定功率覆蓋 25kW~150kW，加熱溫度 90℃，PID 控溫精度 ±1℃，工作壓力 0.4MPa；標(biāo)配主機、溫控系統(tǒng)、PFA 加熱管路、SUS304 機架、操作面板等，開箱即可接入管道系統(tǒng)使用；支持定制不同功率、接口規(guī)格、控溫方案，滿足客戶個性化需求。