Super-Clean Heater 超潔凈石英加熱器

更新日期：2026-04-01

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廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址：日本

簡要描述：

日本 Super-Clean Heater 超潔凈石英加熱器QH 系列，采用高純度石英玻璃與真空密封加熱絲，零金屬離子溶出，耐溫 1200℃，熱均勻性優(yōu)異等腐蝕性化學(xué)品。設(shè)備專為半導(dǎo)體、液晶、光伏等制造工藝設(shè)計(jì)，可定制各類結(jié)構(gòu)，適配擴(kuò)散爐、退火爐等設(shè)備，是超潔凈工藝加熱的優(yōu)選元件。

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產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品概述

日本 Super-Clean Heater 超潔凈石英加熱器QH 系列，是日本專為半導(dǎo)體、液晶面板等制造業(yè)研發(fā)的超潔凈加熱元件。產(chǎn)品以高純度石英玻璃為主體，內(nèi)置真空密封的鎢絲 / 鉬絲加熱元件，杜絕金屬污染，同時(shí)具備高耐溫、優(yōu)異熱均勻性、強(qiáng)耐腐蝕性等特點(diǎn)，是半導(dǎo)體擴(kuò)散、氧化、退火等核心工藝的關(guān)鍵加熱部件，為制程提供穩(wěn)定、潔凈的加熱解決方案。

核心性能與設(shè)計(jì)亮點(diǎn)

超潔凈無金屬污染，適配制程采用 SiO?純度≥99.99% 的高純度透明石英玻璃，加熱絲真空密封在石英內(nèi)部，無任何金屬部件接觸工藝環(huán)境，零金屬離子溶出，適配 12 英寸晶圓制造、制程等超高標(biāo)準(zhǔn)工藝，滿足半導(dǎo)體行業(yè) SEMI 標(biāo)準(zhǔn)，從源頭避免金屬污染對(duì)芯片良率的影響。
高耐溫與優(yōu)異熱均勻性石英本體耐溫高達(dá) 1200℃，可長期穩(wěn)定工作在 800-1000℃工藝溫度；優(yōu)化的加熱絲布局，實(shí)現(xiàn)工藝區(qū)域 ±5% 的熱均勻性，確保晶圓、面板加熱溫度一致，有效提升工藝良率與產(chǎn)品一致性。
強(qiáng)耐腐蝕性，適配嚴(yán)苛工藝環(huán)境石英材質(zhì)耐強(qiáng)酸、強(qiáng)堿、HF等半導(dǎo)體常用腐蝕性化學(xué)品，可在濕法工藝、刻蝕、清洗等嚴(yán)苛環(huán)境中穩(wěn)定使用，使用壽命長，大幅減少設(shè)備維護(hù)與元件更換成本，適配半導(dǎo)體工廠 24 小時(shí)連續(xù)生產(chǎn)需求。
真空密封結(jié)構(gòu)，多場景適配采用真空密封工藝，漏率≤1×10?? Pa?m3/s，可直接用于真空腔體、常壓腔體等各類工藝環(huán)境，適配半導(dǎo)體擴(kuò)散、氧化、退火、CVD 等多類核心工藝，一臺(tái)元件覆蓋多類加熱需求。
定制化設(shè)計(jì)，適配各類設(shè)備支持直型、槽型、板型等多種結(jié)構(gòu)定制，可根據(jù)客戶腔體尺寸、功率需求、安裝方式量身定制，適配各類半導(dǎo)體 / 液晶制造設(shè)備，無需改造設(shè)備結(jié)構(gòu)，降低現(xiàn)場施工成本。