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雙頻氦氖激光干涉儀 納米精度位移測量
更新日期：2026-04-15
訪問量：21
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
生產(chǎn)地址：日本
簡要描述：
美國 Excel Precision 1001F 雙頻氦氖激光干涉儀 納米精度位移測量，采用塞曼效應(yīng)穩(wěn)頻技術(shù)，實現(xiàn) 0.3nm 納米級位移測量，適配半導(dǎo)體、精密機床等場景的高精度標(biāo)定。
產(chǎn)品概述
本產(chǎn)品為美國 Excel Precision 1001F 雙頻氦氖激光干涉儀 納米精度位移測量，是工業(yè)級納米精度位移測量的核心設(shè)備，專為半導(dǎo)體制造、精密機床、FPD 面板設(shè)備的標(biāo)定與檢測設(shè)計，全球累計裝機量超 5000 臺，可直接兼容 HP 5501B 等經(jīng)典干涉儀系統(tǒng)，實現(xiàn)低成本升級改造。
核心性能與參數(shù)
測量原理：塞曼效應(yīng)雙頻 He-Ne 激光干涉法，抗環(huán)境干擾能力強，適合工業(yè)現(xiàn)場長期連續(xù)測量
激光波長：632.8nm（標(biāo)準(zhǔn)氦氖激光），最小分辨率 0.3nm，測量精度 ±0.05ppm
輸出功率：0.5mW，頻率穩(wěn)定性優(yōu)異，長期使用性能穩(wěn)定
測量速度：最高 1.0m/s，支持多軸同步測量，適配高速運動平臺
工作環(huán)境：溫度 15~35℃，濕度 < 80% RH（無結(jié)露），適配無塵室與車間環(huán)境
產(chǎn)品特點
雙頻穩(wěn)頻技術(shù)，抗振動、氣流干擾能力強，測量結(jié)果穩(wěn)定可靠
納米級超高精度，滿足半導(dǎo)體、超精密加工的亞微米級位移測量需求
高兼容性設(shè)計，可直接替換 HP 5501B 等經(jīng)典系統(tǒng)，降低改造成本
寬電壓輸入，適配全球工業(yè)場景，連續(xù)運行穩(wěn)定性強
非標(biāo)準(zhǔn)現(xiàn)貨，可根據(jù)客戶需求定制單軸 / 多軸、角度 / 直線 / 平面度等全功能測量系統(tǒng)
美國 Excel Precision 1001F 雙頻氦氖激光干涉儀 納米精度位移測量 適用場景
半導(dǎo)體 / 液晶面板制造：光刻機、檢測設(shè)備的位移標(biāo)定，晶圓 / 玻璃基板產(chǎn)線精度校準(zhǔn)
精密機械 / 機床領(lǐng)域：超精密機床、坐標(biāo)測量機的精度檢測與補償
科研 / 實驗室領(lǐng)域：精密光學(xué)實驗、材料力學(xué)測試的位移測量
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