靜電卡盤專用 ±1KV 高壓雙路電源
更新日期：2026-05-06
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廠商性質：經銷商
生產地址：日本
簡要描述：
靜電卡盤專用 ±1KV 高壓雙路電源，是專為半導體、面板工藝設計的緊湊型直流高壓電源，支持 ±1KV 雙路獨立輸出，電流最大 100mA，內置極性反轉功能，可實現(xiàn)晶圓平滑吸附與剝離。設備支持工業(yè)通訊接口，適配自動化產線集成，為靜電卡盤工藝提供穩(wěn)定可靠的高壓支持。
靜電卡盤專用 ±1KV 高壓雙路電源，是一款專為靜電卡盤工藝優(yōu)化的高性能直流電源，符合標準機架尺寸，具備低紋波、高穩(wěn)定、省空間的特點，廣泛應用于半導體晶圓、面板玻璃的靜電固定工藝場景。
一、核心性能與技術特點
- 雙路獨立高壓輸出提供 + 1KV 與 - 1KV 兩路獨立可調輸出，電壓范圍 0~±1KV，電流范圍 0~±100mA，可同時驅動靜電卡盤的正負電極，實現(xiàn)晶圓穩(wěn)定吸附，適配不同工藝需求。
- 極性平滑反轉功能內置極性反轉電路，可實現(xiàn)輸出極性的平滑切換，避免電壓突變導致的晶圓損傷或工藝異常，支持晶圓的無沖擊、平滑剝離，保障工藝良率。
- 多方式控制與通訊內置工業(yè)通訊接口，可直接接入現(xiàn)場總線網絡，實現(xiàn)遠程控制與數據采集；同時支持模擬電壓控制，適配傳統(tǒng)控制方式與自動化產線集成。
- 緊湊高穩(wěn)定設計采用緊湊型機架尺寸，大幅節(jié)省機柜安裝空間；紋波含量控制在 1% rms 以內，800V~1KV 區(qū)間輸出誤差不超過 ±1%，可提供穩(wěn)定的高壓輸出，保障靜電卡盤的吸附均勻性與工藝重復性。
二、規(guī)格參數
| 項目 | 規(guī)格說明 |
|---|---|
| 外形尺寸 | W209 × D500 × H99 mm（不含凸起物） |
| 質量 | 約 3.8kg |
| 電源輸入 | 單相交流電 200V±10% / 50/60Hz |
| 輸出電壓 | 直流 0~+1KV / 0~-1KV（雙路獨立可調） |
| 輸出電流 | 直流 0~+100mA / 0~-100mA（雙路獨立可調） |
| 紋波含量 | 1% rms 以內 |
| 輸出穩(wěn)定度 | 在 800V~1KV 范圍內，誤差不超過 ±1% |
| 保護功能 | 輸入過流保護、輸出過電流保護、輸出電壓下垂保護、外部基準電壓抑制回路 |
三、靜電卡盤專用 ±1KV 高壓雙路電源 應用場景
半導體制造：晶圓工藝中靜電卡盤的吸附與剝離供電；
面板顯示工藝：玻璃基板靜電固定工藝；
精密工業(yè)設備：需要高壓靜電吸附 / 固定的自動化產線設備；
科研實驗：需要雙路高壓輸出、極性反轉的靜電相關實驗。
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