一、日本TOA-DKK AQM-250 超純水電阻率計測量儀 產品概述
AQM-250 是日本 TOA-DKK(東亞 DKK)推出的超純水專用高靈敏度電阻率計,專為半導體制造等高純度水工藝設計,可實現超純水電阻率、電導率及溫度的高精度在線監控,是超純水系統水質管理的關鍵設備。
二、核心性能與優勢
超純水高精度測量
專為超純水(含極限水點)場景優化,可實現高純度水電阻率的高精度測量,是半導體晶圓制造超純水系統的理想監控設備。
二次基準器功能
可作為一般電阻率計的校準用二次基準器,為現場設備提供可靠的溯源校準標準,保障測量系統的一致性。
工業級緊湊設計
采用標準 DIN96 尺寸面板設計,可直接安裝于工業控制柜,節省安裝空間,適配半導體工廠、超純水車間的自動化系統。
多通道信號輸出
支持 2 通道測量與 2 路信號輸出,可同時監控兩個測點的超純水水質,并將數據傳輸至控制系統,實現自動化監控與報警。
溫度補償
內置高精度溫度傳感器,可對電阻率 / 電導率測量進行溫度補償,確保不同工況下的測量精度穩定。
可選便攜式機型
提供便攜式版本,可用于現場巡檢、實驗室校準、設備維護等場景,兼顧在線監控與離線檢測需求。
三、日本TOA-DKK AQM-250 超純水電阻率計測量儀 主要技術參數
| 項目 | 規格詳情 |
|---|---|
| 品牌型號 | TOA-DKK AQM-250 |
| 測量項目 | 電阻率、電導率、溫度 |
| 測量范圍 | 0.00~20.00 MΩ·cm |
| 安裝規格 | DIN96 標準面板尺寸 |
| 通訊接口 | 標配 RS-232C |
| 通道配置 | 2 輸入 / 2 輸出 |
四、應用場景
半導體晶圓制造超純水系統在線電阻率監控
電子工業高純水制備工藝水質監測
實驗室超純水設備性能校準與檢測
制藥行業高純水系統水質監控(拓展應用)
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